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tescom气体控制产品技术解析

   2025-01-09 本站wjmingcheng40

TESCOM气体控制产品在工业领域,特别是半导体制造流程中,扮演着至关重要的角色。作为精确控制气体压力和流量的核心组件,TESCOM的气体控制产品不仅确保了制造过程的可控性和重复性,还大大提高了产品的一致性和良品率。

TESCOM调压阀是其产品系列中的佼佼者,其中TESCOM™ 10-X系列调压阀以其高精度和超高纯度的特性,在半导体制造中尤为突出。这款调压阀专为2至100标准升每分钟(SLPM)的高纯气体设计,具备卓越的高灵敏度压力控制能力。其自由阀芯设计能够有效减少磨损和卡滞风险,提供卓越的压降和重复性。膜片与阀体之间采用金属对金属密封,提供整体的高度密封性,降低泄露风险。同时,阀体采用316L VAR不锈钢材质,耐腐蚀、耐高温,确保了调压阀在严苛工况下的长期稳定性和耐久性。这些特性使得TESCOM™ 10-X系列调压阀在半导体制造的蚀刻和化学气相沉积(CVD)工艺中,成为理想的选择。

此外,TESCOM的ER5000系列电动气压执行器也值得关注。这是一款基于PID(比例、积分、微分)控制器的微处理器,可为众多应用提供算法精确的压力控制。ER5000系列可用作独立装置来控制0至100psig/0-6.9bar的惰性气体或仪表空气的压力,或连接至任何气动执行的调压器。搭配调压器使用时,ER5000可提供从真空至30000psig/2068bar的气体和液体压力控制。其高精度、快速响应的特点,以及多种控制和监测功能,使其在多种应用场景中表现出色,包括危险场所。

TESCOM产品的技术优势不仅体现在其高精度的控制能力上,还体现在其产品的可靠性和耐用性上。例如,TESCOM减压阀的安装必须严格按照阀体上的箭头方向保持和流体流动方向一致,以确保其正常工作和延长使用寿命。同时,如果水质不清洁含有杂质,必须在TESCOM减压阀的上游进水口安装过滤器,以防止杂质对阀芯的磨损和堵塞。

TESCOM气体控制产品的性能优势在实际应用中得到了充分验证。在一个压力工艺过程中,要求缓冲罐的气体压力可程序控制,控压精度需达到±(0.02~0.1)MPa。TESCOM的压力控制装置,包括TESCOM的26-20调压器和ER5000Sl-1电子气控执行器,成功满足了这一高精度压力控制要求。通过精确的计算和对比分析,TESCOM产品的控制精度和稳定性得到了充分认可。

综上所述,TESCOM气体控制产品以其高精度、高可靠性和耐用性,在工业领域特别是半导体制造中发挥着不可替代的作用。随着技术的不断进步和应用领域的不断拓展,TESCOM将继续致力于创新和发展,为工业领域提供更多优质的气体控制解决方案。

 
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